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湿法清洗即使用化学溶剂或者去离子水清洗 晶圆。 湿法清洗按照工艺方法可分为浸泡法和喷涂 法两种，如图 3 所示。 浸泡法是将晶圆浸入到装有 化学溶剂或者去离子水的容器槽中。 浸泡法是广泛 使用的一种方法， 尤其是针对一些比较成熟的节 点。 而喷涂法是将化学溶剂或者去离子水喷到旋转 的晶圆上以去除杂质的方法。 浸泡法可以同时处理 多个晶圆，喷涂法一个作业腔室只能同时处理一片 晶圆。 随着工艺的发展，清洗工艺的要求越来越高， 喷涂法的使用也越来越广泛。 1.2 干式清洗 顾名思义，干式清洗就是不使用化学溶剂或者 去离子水等物质，而是采用气体或等离子体等来进 行清洗的工艺。 随着技术节点的不断推进，清洗工 艺的要求越来越高 [9-10] ，使用的比例也在不断增加， 湿法清洗产生的废液也是大量增加。
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五行 外文名 Five Elements 記載典籍 《 尚書 》 基本元素 水、火、木、金、土 理論系統 萬物的形成及其相互關係 應用範圍 哲學、中醫學、占卜算命、曆法等 應用學科 中醫藥學；中醫基礎理論 目錄 1 簡介 2 地支五行 3 學説應用 4 歷史淵源 5 理論基礎 五行 簡介 五行概念始於《 尚書 》,單純地指代水、火、木、金、土五種常見的自然物質材料;後經春秋戰國至兩漢的發展演變,在相生相剋思維的基礎上,又附之於陰陽、四時、五方、 五德 等 元素形成 了一個完整的五行 系統模型 。 [6] 相生，是指兩類屬性不同的事物之間存在相互幫助，相互促進的關係；具體是： 木生火 ， 火生土 ， 土生金 ，金生水， 水生木 。
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